真空泵

配备冷凝泵或分子泵和无油机械泵

真空阀门

气动控制高真空插板阀

蒸发源

多坩埚电子束蒸发源

样品室

蒸发腔体为304不锈钢，并有观察窗

样品台

顶部安装旋转的样品台或侧面安装的转角样品台

膜厚检测

晶振膜厚监控

真空测量

宽量程真空计用于测量真空和粗抽计

装样能力

一个最大8英寸的平板基片或多个小基片

蒸发速率分辨率

0.05 Angstroms/sec

膜厚分辨率

0.02 Angstroms